ZCS-165QD06
晶圆研磨用超声L气静压永同步电主u

一?pȝl成
本系l主要是由ZCS-165QD06永磁同步电主_高精度编码器Q?.5KW同步驱动控制器,三_֯qo?I气压力保护开关组成系l?/span>
主u安装方式采用法兰安装方式?/span>
主u冷却采用水冷却方式?/strong>
砂轮安装方式详见囄?/span>
二?技术特点:
●该气静压电主u采用 “纳c碳U维材料”制作的高刚性、大承蝲、低耗气量、自润滑不磨损的高精密气静压Q空气u承)电主轴。其轴向和径向承载力高,耗气量低Q自润滑功能Q具有低绿色环保永不磨损的特点?/span>
?strong>声波电主u内置声波机构可以自动控制{换超声L工作状态,h提高加工效率、提高表面光z度、g长砂轮用寿命、不易粘砂轮{的Ҏ?/strong>?/span>
●空气电主uh气密?q宫式防水防结构,密封效果更佳?/span>
●主轴中心配|有中心出水孔,冷却水从轴后端进入前端喷出?/span>
●主轴电机采用永同步电机,内置高精度编码器Q用同步驱动控制器控制实现无U调速?/span>
●本pȝ在气路进口加有压力传感器Q具有过、过载、气压低于下限等故障报警保护功能Qƈ且具有和上位机通讯功能QRS-485Q?/span>
三?ZCS-165QD06气静压电主u主要技术指?/strong>
1?主要技术指?/span>
2?主要_ֺ指标
①?轴头径向跛_?0.1um
②?端面跛_ ?0.2um
③?动^衡精度等U≤ G0.4
④?动态全速度范围内振动V ?0.5mm/s
⑤?噪声全速度范围??60 dB
⑥?主u外壳耐高??30 ?/span>
⑦?nbsp;径向刚?/span>8kg/um
?/span>?/span> 径向载荷35kg
?/span>?/span> 轴向刚?0kg/um
⑩?nbsp;轴向载荷115kg
3、特性曲U?/span>
4、品尺?/span>
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